从材料特性看传感元件的发展方向

一、前言以前的传感器大多是所谓结构式传感器。例如采用金属膜片的变形引起电容量的变化来检测压力,其特性是由传感器的尺寸和结构形状等来决定的。近来,传感器的适用范围日益扩大,特别是在家用电器制品和汽车等方面急需体积小、产量大的传感器产品。根据这种情况,发展直接利用材料的特性及其各种物理效应来检测信息的物理式传感器更为有利。二、材料特性及其在传感元件中的应用材料对于所有的外界条件,各自都显示出特有的响应特性。其中,对外界条件特别敏感的材料,即具有功能特性的材料被应用     

如何提高集成电路成品率

提高成品率是集成电路生产和研制中十分重要的课题。本文从基础工艺出发,概述了影响集成电路成品率的基本因素,提出了提高成品率的工艺措施。     

轴流分子泵研究(一)——关于平板单叶轮的排气性能

1、引言 近年来,随着科学技术的不断发展,真空技术的重要性与日俱增,而且开始要求比以往更高、更清洁的真空环境。所以自扩散泵问世之后,曾一度被忽视的分子泵又再次引起人们的重视。 分子泵与扩散泵不同,它不用油或水银之类的工作液,因而可获得清洁的真空;又因它的极限真空只取决于系统的泄漏和放气,因此如果用真空处理过的材料制成具有良好排气性能的多级轴流叶轮,那么就能获得超高真空。 Hablanian[1]通过10级的轴流压缩机在低压下工作,得到了3×10～(-4)乇的极限真空和叩左右的压缩比。 德国Arthur Pfeiffer公司,利用Becker[‘]的专利…     

谈传感器的命名与分类

一、引言传感器技术的蓬勃发展,促使形形色色的传感器产品大量涌现。据不完全统计,目前国内传感器品种已达数千种。如何将这些名目繁多,性能各异的传感器加以科学地命名和分类,已成为传感器行业急待解决的课题。最近,我国批准并发布了GB7665-87《传感器通用术语》和GB7666-87《传感器命名法及代号》两项国家标准,为我们明确传感器概念,统一我国传感器命名、分类、术语及代号,提供了科学依据和法规。本文基于GB7665-87、GB7666-87两项国标所规定的原则,结合传感器行业实际情况,仅就传感器命名与分类问题谈谈粗浅看法。二、传感器与敏感元件的概念传感器与敏感元件乃是两个不同的概念。两者既有内在联系,又有本质区别。传感器是     

半导体器件失效分析

失效分析是半导体器件可靠性工程的重要组成部分.本文从器件设计、材料及工艺角度概述了半导体器件失效机理、失效模式;同时,对常规失效检验法及其仪器做了简要介绍.     

辐射加热式钛升华器

本文评述了一种采用近似球形钛壳、里面含有钨丝加热器的新型辐射加热式升华器。该升华器结构比较简单,当升华率为0.5克/小时可蒸发出约37克钛。在给定的输入功率下,升华率在升华器整个寿命中相对地保持恒定,同时制造很简单而且工作可靠。用球形和园筒形两种升华器作比较试验,来说明不同结构的升华率对功率和时间特性方面的影响。本文就这种装置及常用在升华抽气方面有关其他升华源的工作特性予于讨论。 引言 钛升华抽气作用早已被普遍地应用在真空工艺方面。它对活性气体来说,是一种成本低、抽速高、清洁的抽气装置。现今所用的钛升华源种…     

微型计算机时代崛起的传感器

一、前言 近年来,大规模集成电路和微型计算机在突飞猛进地发展,过去的十年间,每单元芯片面积上计算和存储功能数量逐年倍增,而且目前尚看不出在理论上或技术上会限制这种发展,至少在难度上还可提高100倍,近几年,单片式微型计算机的问世,不仅在一块芯片上包括以微程序语     

国外电容式集成压力传感器简介

本文简要介绍了一种用集成电路工艺制造的新型电容式集成压力传感器的工作原理、设计、工艺及主要性能。这种传感器测量灵敏度比压阻式传感器约提高了一个数量级,更重要的是降低了温度灵敏度,减少了温度漂移。     

辉光放电法非晶硅钝化工艺

本文描述了用电容耦合式射频等离子体分解硅烷淀积含氢a—Si钝化膜的工艺。考察了与单晶半导体器件钝化有关的制备条件。     

轴流分子泵研究(二)──关于动叶片和静叶片的组合

1、前言 轴流分子泵是机械泵的一种。它是利用轴流叶轮在分子流区域内高速旋转获得低压强的超高真空泵。在实际的轴流分子泵中,通过几十级的叶轮以150～200米/秒的圆周速度旋转能够获得10～(-8)～10～(-11)乇的极限真空度。 笔者为说明轴流分子泵的抽气机理,首先分析了平板式单叶轮在分子流区域内的抽气特性,然后通过实验证实该分析法是可行的,进而阐述了叶片几何尺寸、叶片速度与抽气特性的关系(1)。 在单叶片的场合,在其叶片的进气侧和出气侧都面对很大的空间,但是要把几枚叶片组合时,至少有一侧满足不I这个条件。所以说,组合叶片的抽气…