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提出了一种利用硫酸/过氧化氢溶液氧化清洗硅基的方法.硅片经超声预清洗后,放入硫酸/过氧化氢溶液中,80℃下氧化清洗其表面的污染物.通过接触角检测,表征了清洗前后硅基表面的亲水性变化.通过原子力显微镜(AFM)表征了经硫酸/过氧化氢溶液清洗后硅基的表面形貌.结果显示,经硫酸/过氧化氢溶液亲水化清洗30min后的硅基表面的接触角为7.3°,显示出很强的亲水性,其表面均方根粗糙度(RMS)仅为0.03nm.因此,硫酸/过氧化氢氧化清洗法是一种硅基表面无形貌改变的亲水化清洗方法. 相似文献
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为了验证污泥湿式氧化技术的工业可行性、稳定性和安全性,通过建立连续式热态实验台研究典型条件下的污泥湿式处理效果,分别检测了氧化产物中的三相成分和性质并进行反应动力学计算。结果表明:典型条件下实验装置稳定运行超过100 h,反应后固相残渣有机物降解率达78.62%,重金属含量及浸出重金属含量均达标;液相中COD、总氮、氨氮和总磷超标,可返回污水处理厂进一步处理;气相中无SO_2和NO_x;污泥湿式氧化过程分为快速反应阶段和慢速反应阶段,且2个阶段均属于化学动力学控制。 相似文献
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本文以蚁群算法为基础,按照其基本思想,在matlab下编程实现了算法在电脑鼠迷宫搜索中的应用,验证了算法设计的合理性,通过仿真实验,求解出迷宫的最优路径,完成对迷宫路径的规划。 相似文献
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针对陀螺高精度小型化需求,该文设计了一种微半球陀螺结构,建立微半球陀螺三维有限元模型,研究了微半球谐振子结构对称性对陀螺性能的影响规律。提出了谐振子圆度及1~4阶质量不对称误差的评价方法,实现了谐振子制造工艺优化,优化后的谐振子圆度误差≤2μm,在此基础上研制了微半球陀螺样机。结果表明,封装后陀螺样机的周向品质因数(Q)值分布为(9.024~9.183)×105,均匀性为±0.87%;速率模式下,陀螺量程为±20 (°)/s时,陀螺零偏不稳定性为0.013 8 (°)/h,角度随机游走为■,展现了高结构对称性微半球陀螺的性能潜力。 相似文献
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硅基表面无形貌改变的硫酸/过氧化氢氧化清洗 总被引:2,自引:0,他引:2
提出了一种利用硫酸/过氧化氢溶液氧化清洗硅基的方法.硅片经超声预清洗后,放入硫酸/过氧化氢溶液中,80 ℃下氧化清洗其表面的污染物.通过接触角检测,表征了清洗前后硅基表面的亲水性变化.通过原子力显微镜(AFM)表征了经硫酸/过氧化氢溶液清洗后硅基的表面形貌.结果显示,经硫酸/过氧化氢溶液亲水化清洗30 min后的硅基表面的接触角为7.3 °,显示出很强的亲水性,其表面均方根粗糙度(RMS)仅为0.03 nm.因此,硫酸/过氧化氢氧化清洗法是一种硅基表面无形貌改变的亲水化清洗方法. 相似文献
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