Al-Ag弱掺杂ZnO薄膜的结构和光学特性

采用溶胶凝胶法制备了Al-Ag共掺杂的ZnO薄膜,研究了该ZnO薄膜的表面形貌、微结构和光学性质。结果表明,通过改变Al、Ag掺杂量与Zn的比值,ZnO薄膜呈现出良好的C轴取向。     

溶胶-凝胶法制备的ZnO:Al薄膜的表面形貌与导电性

采用溶胶一凝胶工艺在普通载玻片上制备出C轴择优取向的ZnO:A1透明导电薄膜.利用扫描电镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)等分析手段对薄膜进行了表征,重点研究了薄膜表面形貌与导电性的关系.结果表明,薄膜具有骨架型网状结构,网状越密集其导电性越好;同时,用高倍数扫描电镜扫描所得的图像越清晰,薄膜的导电性越好.