Rutherford Backscattering and Luminescence Studies Erbium Implanted Silicon

ＲｕｔｈｅｒｆｏｒｄＢａｃｋｓｃａｔｔｅｒｉｎｇａｎｄＬｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅＳｔｕｄｉｅｓＥｒｂｉｕｍＩｍｐｌａｎｔｅｄＳｉｌｉｃｏｎ￥ＬｉＹｉ；ＬｉＪｕ－Ｓｈｅｎｇ；ＪｉｎＹｉ－Ｘｉｎ；ＳｈｉＢｏ－Ｒｏｎｇ；ＪｉａｎｇＨｏｎｇ；ＺｈａｉＨｏｎｇ－...     

He~＋离子注入KTiOPO_4晶体波导的制备及其性能研究

报道了液氮温度Ｈｅ＋离子不同的注入能量和剂量条件下ＫＴｉＯＰＯ４晶体波导的制备，利用Ｍ线光谱法测量了退火后波导各导模的有效折射率，计算了波导层折射率的分布和晶体中离子的射程分布与损伤分布，二者吻合得较好。