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采用磁控溅射的方法在Si衬底上生长Fe/Si多层膜,退火后形成了硅化物薄膜。利用X射线衍射(XRD)、Raman光谱、原子力显微镜(AFM)研究了Fe/Si膜厚比和退火温度对薄膜结构特性的影响。研究表明,当Fe/Si膜厚比为1/2,预先在衬底上沉积Fe缓冲层,退火温度为750℃,形成的硅化物为β-FeSi2,晶粒的平均尺寸大约为50nm,且分布得比较均匀。如果Fe/Si厚度比为1/1或3/10时,形成的硅化物为ε-FeSi。随着退火温度的升高,Fe/Si之间的相互扩散逐渐增强,当退火温度为1 000℃时,形成了富硅的二硅化物的高温相α-FeSi2。 相似文献
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公安派出所开展消防监督工作是《中华人民共和国消防法》和《消防监督检查规定》(公安部令第120号)赋予的一项法定职责,就如何开展好公安派出所消防工作,本人结合工作实际,简单阐述了目前公安派出所在开展消防工作中存在的一些实际问题,怎样确保公安派出所顺畅的开展此项工作提出了粗浅对策。 相似文献
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