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在(100)单晶Si 衬底上,采用MEMS 工艺和丝网印刷方法制作了锆钛酸铅(PZT)厚膜热释电红外探测器,深入研究了PZT 厚膜材料的制备方法与器件加工工艺。采用四甲基氢氧化铵(TMAH)溶液腐蚀Si 衬底制备硅杯结构。为防止Pb 和Si 相互扩散,在Pt 底电极与SiO2/ Si 衬底之间通过射频反应溅射制备了Al2O3 薄膜阻挡层。采用丝网印刷在硅杯中制备了30 m 厚的PZT 材料,并用冷等静压技术提高厚膜的致密度,实现了PZT 厚膜在850℃的低温烧结。PZT 厚膜在1 kHz、25℃下的相对介电常数与损耗角正切分别为210 和0.017,动态法测得热释电系数为1.510-8Ccm-2K-1。最后制备了敏感元为3 mm3 mm 的单元红外探测器,使用由斩波器调制的黑体辐射,在调制频率为112.9 Hz 时测得器件的探测率达到最大值7.4107 cmHz1/2W-1。 相似文献
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桩基的钻芯法检测可能会出现钻孔偏出桩外的情况,根据钻孔偏出桩外的深度、钻孔的垂直度等信息,可以推算桩的倾斜情况,对指导新钻芯孔的开孔位置,复核桩的可用性等均有重要意义。本文提出了当有两个钻孔偏出桩外时,利用两个钻孔桩顶处坐标及钻孔与桩身边界相交点处坐标推算桩身倾斜的方法。本文分别给出了用于计算桩倾斜方向和角度的方程组及求解该方程组近似解的方法。两种方法可相互校核,可快捷、可靠地进行桩身倾斜情况分析。本文通过一个工程实例演示了分析方法,并介绍了利用孔内摄像法判定桩身倾斜的方位,辅助求近似解的方法。 相似文献
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