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用直流磁控溅射法制备了氧铟锡(ITO)薄膜。采用XRD、TEM、XPS对薄膜的微结构和化学组分进行了测试分析。分析结果表明:制备的薄膜中,Sn元素已固溶到In2O3晶格形成了多晶ITO。延长退火时间,薄膜的结晶度增加,SnO被氧化为SnO2并逐渐达到饱和,薄膜表面先失氧后附氧,膜中氧空位含量先增加后减少。退火1h后,薄膜具有最低电阻率(6×10-4Ω.cm)和高可见光平均透射率(93.2%)。 相似文献
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在硅片和石英上利用射频溅射法沉积了TiO2薄膜,并分别在空气中进行了退火处理。利用椭偏光谱仪对硅片上薄膜进行了椭偏测试,利用紫外-可见分光光度计对石英上薄膜进行了透射光谱测试。利用解谱软件对椭偏谱和透射谱进行了建模解谱,获得了不同基片上薄膜在不同退火温度下的折射指数和消光系数,发现和TiO2块材的光学常数也有明显的区别。通过计算得到了系列薄膜的光学带隙,带隙值范围从3.35~3.88eV,可以为薄膜态TiO2体系的光学应用、设计和相关理论研究提供一定的依据。 相似文献
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介质中的光线经过两个固定点和两不同介质界面上的任意(可变动)点时,利用光线光学(费马)原理与变分法推得传输光线的轨迹方程应满足的边值关系式,或称边值公式.由此公式证明了基础光线光学中的实验定律;推出了单球面镜成像公式. 相似文献
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通过控制射频磁控溅射时间(5,10和15min)和Ag组分制备了三种厚度、四种Ag体积百分比(5%,10%,15%和20%)的Ag-ZnS复合薄膜。微结构研究表明:较低Ag组分(5%,10%和15%)的薄膜表现为β相ZnS体心立方晶体的(220)择优取向结构,未出现Ag的衍射特征峰;Ag体积分数为20%的复合薄膜同时出现了Ag(111)和ZnS(220)的衍射峰,但峰强度明显降低。分析认为:较低Ag组分薄膜中的Ag成分有助于ZnS结晶或晶体长大,但较高Ag组分薄膜中的Ag对ZnS的结晶起到抑制作用。电学特性研究表明:较低Ag组分复合薄膜导电机制为介质状态;而20%Ag的复合薄膜导电机制为过渡状态,以Ag金属颗粒联并而成的网络结构中的渗透电导为主。 相似文献
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ITO薄膜的透射谱解谱 总被引:1,自引:1,他引:0
用直流磁控溅射法在普通载波片上制备了厚度130hm左右的ITO薄膜,分别在100、200、300和400℃下退火lho测量了退火前后几个样品的XRD和透射率,利用椭偏解谱方法对几个样品的透射谱进行建模及解谱,结果表明,未退火样品'为非晶结构,退火后为多晶结构;退火温度在300℃以下的样品,随着退火温度的升高其n和k值都有明显的降低,退火温度为400℃的样品n和k值却有所增大.利用吸收系数得到了几个样品的直接带隙,其变化范围在3.7eV一3.9eV之间. 相似文献
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Undoped and Na-doped ZnO films were deposited by sol-gel method. The effects of sodium incorporation on structure, surface
morphology and optical constants of the films were investigated. X-ray diffraction patterns show the hexagonal wurtzite polycrystalline
structure and that the sodium incorporation leads to the change in the structural characteristics of ZnO films. The SEM observations
show that the surface morphology of the films is affected by the sodium incorporation. The transmission spectra show that
the average transmittance of the films is above 85% in the visible range. The absorption edge initially blue-shifts and then
red-shifts with the increase of Na doping content. The optical constants of these films were calculated using transmission
spectra. Refractive indices of the films in the visible range decrease at first and then increase with increasing Na doping
content. 相似文献
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