一种网状刻蚀铝掩膜层的制备

热释电摄象管(PEV)之所以受到注意,是由于它是比较便宜、具有中等性能的红外(8～14μm)成象器件。象任何一种成象器件那样,在热释电摄象管中,决定性能的参数是灵敏度、噪声和分辨率。非网状靶面热释电摄象管的分辨率受到两个方面的限制:电子束放电滞后和靶面的横向热扩散。电子束放电滞后的结果使信号不能完全读出。若以平移模式工作,在高空间频率下,这就会引起信息的损失。另一方面,在高空间频率下,由于热象区到冷象区的热扩     

恢复和提高Y1Ba2Cu3O7—x高温超导膜性能的一种方法

Ｙ１ＢａＣｕ３Ｏ７－ｘ高温超导膜用于探测器研究在制备过程中及存放期间,氧成份的逸漏是难以避免的,这导致超导薄膜性能严重退化甚至报废。提出了一种方法,即注氧法,对于恢复超导薄膜中的氧组分含量,保持和提高超导膜的性能,是行之有效的方法。     

多元超导红外探测器电极掩膜板的制备及应用

由于ＹＢａＣｕＯ是一种怕水、酸和乙醇等有机溶剂的材料，且通过一次光刻工艺后Ｔｃ０要下降３￣４Ｋ。因此，减少光刻工艺次数就成为制备多元器件的关键。本文介绍一种适用于多元超导红外探测器的新工艺，在电极剥离几乎无法成功的情况下，用电极掩膜板的方法可获得性能优良的微形图样，使成品率达１００％。