离子注入中的沟道效应控制

离子注入中的沟道效应使注入离子在深度上的控制变得很困难，并使SHEET值的均一性恶化，本文借助计算机模型。对注入剂量，注入能量，硅片基板方位，硅片表面薄膜氧化层厚度变化时，研究分析了注入沟道效应的相应变化。