多线切割机控制系统的设计与研究

分析了多线切割机的总体结构,给出了系统设计控制硬件和软件实现框图,详细阐述了系统恒定张力控制、变径收放线辊恒线速度控制、排线控制等具体功能。     

陶瓷衬底的化学机械抛光技术研究

介绍了薄膜集成电路陶瓷衬底的化学机械抛光技术,概述了化学机械抛光原理和设备,讨论分析了影响陶瓷衬底的化学机械抛光的因素,并用实验加以验证。