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环境振动能收集系统的微型压电悬臂梁设计与制作 总被引:2,自引:0,他引:2
研制长寿稳定电源已经成为微型无线传感网络中的关键技术之一,现有的化学电池容量有限,需要不断的逐个更换耗尽的电池,难以满足无线传感网的实际应用.本文提出利用压电材料的机电耦合特性收集环境振动能,该类型微电源有望成为MEMS提供长期电能.首先分析了利用压电材料收集振动能的原理,对微型悬臂梁结构的设计进行了简单的分析,重点介绍了用MEMS工艺加工微型悬臂梁的工艺流程.悬臂梁结构采用体硅和面硅加工工艺相结合,体硅工艺包括湿法和干法刻蚀硅及表面层结构,金属Pt层刻蚀等,面硅工艺包括溅射金属薄膜和利用Sol-Gel方法在Si/SiO2/Ti/Pt衬底上制作锆钛酸铅(Pb(Zr0.52Ti0.48)O3,PZT)压电薄膜等.经过反复工艺实验研究,确定一套稳定的微型压电能源的制作工艺流程. 相似文献
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基于NURBS理论的射流燃烧汽油机缸盖模具气道的CAD/CAM技术研究 总被引:1,自引:0,他引:1
本文以当前国际上CAD/CAM领域最流行的非均匀有理B样条(NURBS)理论为数学模型,对射流燃烧汽油机缸盖模具的气道进行了曲面造型和曲面拟合;并结合气道曲面的实际,在数控加工中对气道曲面通过轴心线实施了分段剖分,并采用参数线法确定了刀心轨迹,进行刀具轨迹仿真,获得了数控加工气道曲面和型芯的NC程序。本研究对提高射流燃烧汽油机缸盖的模型的精度和效率,改进汽油机的气道设计均有重要意义。 相似文献
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微能源的研究现状及发展趋势 总被引:5,自引:0,他引:5
电子产品小型化、微型化、集成化是当今世界技术发展的大势所趋.随着微机电系统(MEMS)技术的发展,与之相关的微能源技术得到人们更多的重视.人们希望MEMS技术和微能源技术互为促进,运用MEMS技术工艺改善和提高微能源的性能,同时微能源以某种方式集成于MEMS中,使MEMS具有更加强大和完备的功能.目前供能问题已经成为MEMS降低成本、进入实用化、自动化的最大障碍.介绍了微能源技术的研究现状和发展趋势,介绍了国际上微型锌镍电池、微型内燃机系统、微型锂电池、微型太阳电池、微型燃料电池和微型同位素电池研究工作的最新进展.简单分析了微能源的发展方向和应用前景. 相似文献
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开发了一种利用SU8胶剥离工艺制作沟槽型同位素微电池表面电极的新工艺,通过使用BP212正胶作为牺牲层,有效地解决了在制作沟槽型同位素微电池表面电极时,堆胶以及沟槽中SU8胶不易去除的难题.该工艺操作简单、可靠,成本低,因此具有很大的实用价值. 相似文献
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