超高真空分离规的研究

本文介绍我们研制的超高真空分离规的初步结果。给出分离规的结构、工作状态、压强范围和灵敏度。在全压强范围,分别利用大圆筒电离计、BA计和分离规进行对比,说明分离规的读数是可靠的,发现分离规在高压强时收集极电流有饱和现象并加以说明,发现BA计在10~(-8)托(空气)量程就已出现电子诱导栅极离子解吸现象。在0.3×10~(-11)托的极限真空下,改变栅灯电压测收集极电流,用对数直线外延法确定分离规的x射线光电流本底,它为1×10~(-12)托,讨论了这种方法的可行性。最后提出进一步提高分离规灵敏度的一种措施。     

四极质谱计定量分析的初步实验探讨

前言随着四极质谱计在真空系统分压强测量中越来越广泛的应用,从各方面都对它提出了定量分析的要求。从原则上讲,如果能够确定各种气体的分压强灵敏度和它们的图样系数,定量分析的问题并没有不可克服的困难。但是理论分析和实验研究都表明,它们不仅与仪器的类型、几何参数、电参数有关,而且与仪器的工作条件和使用情况也有关。同一型号仪器的     

笑气中氧和水份对等离子氧化膜质量影响的探讨

一、前言 随着硅片尺寸的增大和器件集成度的提高，高质量的绝缘膜对提高器件的成品率有很大的影响。利用等离子增强化学法气相淀积技术(PECVD)生长的等离子氧化膜，能较好地满足器件所要求的各种淀积特性。其反应气可采用硅烷SiH4和笑气N2O0大量氧气和水的存在，对CVD氧化膜的质量有很大的影响。硅烷遇氧气或水就生成无定形白色粉末状的二氧化硅：