用白光空间滤波系统检查IC掩模缺陷

本文介绍一种使用空间滤波的实时单一镜头白光信息处理系统来检查IC光刻掩模缺陷的方法。采用这种方法比传统的镜检法或激光相干处理技术更为简单、快速,且效果明显。它能明显地检查出IC掩模里的黑点、针孔、刻痕、电路缺损、短路和断路等微小缺陷,并可检测出最小线度为2μm的缺陷。