GEM状态转换在化学机械抛光设备系统中的应用

根据Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (简称GEM)通讯协议的要求,分析了子状态、状态要求、状态转换的条件、触发状态转换的模块等;根据上述不同内容,选择不同的消息传递路径,最终实现GEM状态的转换,为设备端和主机端的交互提供了基本条件。     

MPM-700光学零件抛光平台的研制与改进

论述了用于激光陀螺仪、旋光片抛光的MPM-700光学零件抛光平台的主要结构及特点。介绍了该设备在传动方式、台面选型优化、抛光头装载结构方面较原PG-710抛光设备的技术改进;并通过运用有限元软件对该抛光平台架进行受载情况仿真,消除了抛光过程中抛光盘变形对抛光效果的影响,进而在理论和实践两个方面确定了该设备已达到设计要求。     

基于小波阈值的非局部均值去噪

非局部均值去噪算法充分利用了图像的全局信息,因此比传统的局部去噪算法有着更好的去噪效果。但是,非局部均值去噪算法计算时间复杂度较高,故利用小波阈值的方法对其进行改进,改进后使用非局部均值处理的数据量大幅减小。实验表明,改进后的算法比非局部均值算法去噪效果基本持平,且运行速度更快。