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随着光刻系统被驱动用来生产65nm以下的器件时,反向光刻技术(ILT)的应用前景变得越来越广阔。不过,采用反向光刻技术得到的版图通常很难制造,限制了反向光刻技术的使用领域。在这篇文章里提出了一个新的复杂度惩罚项,文章里面称为全局小波惩罚项。通过在版图上进行了四个独特的小波变换,之后选择了一个版图高频成分含量最高的方向作为优化的小波变换方向,全局小波惩罚项对于版图的高频分量能进行更加深入的分析。在这之后,文章中提出了一个新的基于梯度法的反向光刻算法,新算法里面通过将全局小波惩罚项作为它的第一阶段复杂度惩罚项,能更好的降低版图复杂度。实验证明,基于90nm的光学条件和三个典型的65nm的flash阵列版图,相比于采用文章中称为局部小波惩罚项作为复杂度惩罚项的梯度算法,新算法得到的三个版图结果,总的顶点数目分别下降了12.89%,12.63%和12.64%,与此同时精确度保持在同一个水平上。 相似文献
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