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1.
回顾了微机械加工技术的最新进展,介绍了自由空间微型光学试验平台和光预对准的概念以及微机械加工的光学器件实例。  相似文献   
2.
大功率半导体激光器的发展现状   总被引:2,自引:0,他引:2  
介绍了无铝激光器、宽波导激光器、展宽条形激光器及其它类型激光器、GaN基激光器 分布反馈激光器的发展现状。  相似文献   
3.
微电子机械系统   总被引:3,自引:0,他引:3  
概述了微电子机械系统(MEMS)的特点,理论和技术基础。详细介绍了微型传感器、微型执行器、微型光机电系统(MOEMS)、微型生物化学芯片、微型机器人、微型飞行器、微型动力系统和纳米电子机械系统等主要MEMS器件和系统及这些器件在个人运载工具导航、系统监控与故障预防、环境感知、小型分析仪、生物医疗器械和航空航天等领域的应用,最后简述了MEMS技术的发展趋势与我国的发展现状。  相似文献   
4.
回顾了微机械加工技术的最新进展, 介绍了自由空间微型光学试验平台和光预对准的概念以及微机械加工的光学器件实例。  相似文献   
5.
介绍了无铝激光器、宽波导激光器、展宽条形激光器及其它类型激光器(如低限制激光器)、GaN基激光器和分布反馈激光器的发展现状  相似文献   
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