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静电梳微振子结构和特性研究 总被引:6,自引:1,他引:6
较系统地研究了静电梳驱动微振子的结构和工作原理,导出了微振子的谐振频率、品质因子及跨导等参数,以及相应的力学和电学模型,并研究了空气粘滞效应对品质因子的影响,在此基础上,设计出几种不同尺寸,不同形状的微型谐振子结构,并用表面微机械加工方法成功地制成了能横向振动的静电梳微振子,实测得到的谐振频率在7.5 ̄9.0kHz范围内,在空气中品质因子为100左右,与理论计算能较好符合。 相似文献
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