鉴定多晶硅织构的一种方法

现在多晶硅材料的直接运用越来越多,因而对多晶硅材料的研究是十分有兴趣的课题之一.从高纯多晶硅原料的生产、多晶硅薄膜的CVD沉积,直到多晶硅太阳电池的发展,导致了人们对多晶硅晶体结构特性(晶粒度、织构)以及对晶界效应的研究.其目的就是要把晶界引入的不良影响降到最低限度,从而提高器件的性能.不论是气相沉积还是熔体正常凝固得到的多晶硅常常是有织构的.而多晶硅织构的形成带来了不同的晶粒度和晶界效应,由此对器件