功能材料在MEMS中的应用及进展

以硅材料为基础的微机电系统MEMS被人们认为是21世纪革命性的新技术,是实现信息采集、处理、执行一体化,使之成为真正的系统.本文论述了MEMS的加工技术对材料提出的要求,以及近年来各种硅材料和功能材料在MEMS的应用和最新进展.     

手持式乙醇测试仪的研制

介绍一种新型的乙醇测试仪的设计原理、实用电路及实验结果。该仪器具有体积小、灵敏度高、选择性好、稳定性高、响应时间短、手持、能方便地现场实时地检测气体中气态酒精浓度等特点。可用于交通安检及酒厂、食品工厂发酵的监测。     

MIM结构力敏薄膜应变栅的高温稳定性

运用薄膜技术在镍基弹性体上制备金属 -绝缘层 -金属 (MIM)结构的薄膜应变栅 ,测试了应变栅在 2 0 0～ 30 0℃的高温区内的稳定性 ,并分析了应变栅薄膜的结构、薄膜的应力以及热处理工艺等因素对力敏薄膜在高温下的稳定性的影响。     

新型MEMS氨气传感器的测试

本文主要论述了新型MEMS氨气传感器的性能测试.研究氨气浓度、工作温度与阈值电压的变化关系、传感器的热稳定性和气体选择性能的测试,以及应用微处理器,采用人工自动校正法对测量系统进行校准.     

微型热释电红外传感器

报道一种新结构的微型热释电红外传感器，介绍其结构，工艺与性能参数。