i－line光刻高均匀照明系统光能分布的计算模拟

叙述了ｉ－ｌｉｎｅ光刻高均匀照明系统的均匀照明原理，以及其具有特殊面形（非球面）、特殊结构（非共轴）、超光学表面（由多个非共轴光学表面组成）的光学系统的光能分布计算模拟的原理、方法。作为例子，用所编写的程序计算模拟了我们近来设计的一曝光系统几个重要光学表面上具有权重的点列图和光能分布曲线。     

大视紫外高均匀照明光学系统构成原理和光能分布模拟计算

叙述紫外均匀照明光学系统构成原理和光能分布模拟计算设计方法。举例说明用开发的模拟设计软件ＯＰＴＥＮＧ，设计和模拟计算了一个大视场均匀照明光学系统，在照明面积为１００ｍｍ×１００ｍｍ范围内，照明光能分布不均匀性小于±２％。     

弹道相机光学系统设计

弹道相机主要用于测量飞行体的弹道轨迹,也用于校验其它光学电子学靶场测量设备。它属于高精度光学摄影测量设备。其工作基本原理是将被摄运动目标的一系列点象和天空基准恒星象点同时记录于大尺寸的感光底板上,用座标量测仪测量底版上的星象和计算机处理所得到弹道数据。本文讨论此种摄影测量的镜的光学参数选择、设计要求、光学镜头的结构型式和光学设计要点以及各种型式可能做到的水平。     

衍射光学元件表面形貌测量方法研究

提出了一种基于双光路双波长相移干涉显微原理的新型 DOE三维表面形貌测量方法 ,并建立了相应的测量系统。理论分析和测量结果表明 ,测量系统纵向分辨率为 0 .5 nm,横向分辨率约为 0 .5 μm(NA=0 .4) ,在整个纵向测量范围内重复测量精度优于 1 .3nm,满足了 DOE表面形貌测量的需要。     

透镜自动设计的程序系统——作为线性逆变换的自动设计方法

1 前言用电子计算机进行“透镜自动设计的方法”,作为光学设计工作的工具来说,现在感到是完全成熟了。这种自动设计方法,自从电子计算机出现以来,不仅仅作为单纯的计算工具,而且在设计过程中,可以频繁地观察计算机,所以也可以说由于积极灵活运用使重复工作得以自动化,结果,从设计周期的缩短、光学系统精度的提高、复杂化、多样化以及紧凑     

大视场紫外高均匀照明光学系统构成原理和光能分布模拟计算

叙述紫外（ｉ 线）均匀照明光学系统构成原理和光能分布模拟计算设计方法。举例说明用开发的模拟设计软件ＯＰＴＥＮＧ,设计和模拟计算了一个大视场均匀照明光学系统,在照明面积为１００ｍ ｍ ×１００ｍ ｍ 范围内,照明光能分布不均匀性小于±２ ％ 。     

通过数据处理实现微细台阶面的测量

分析了微细台阶面表面形貌测量可能会出现平滑或失真现象的根源 ,提出一种基于测量数据分析和数据处理的解决方法。此方法已成功地应用于自行研制的衍射光学元件三维表面形貌测量系统中。     

亚微米i线投影光刻物镜的光学设计与研制

叙述亚微米投影光刻物镜光学设计要点：光刻分辨力Ｒ与波长λ、数值孔径ＮＡ的关系；光学系统双远心的构成方法；光刻物镜的象差校正优化设计中的需控目标值等问题。介绍一个亚微米ｉ线投影光刻物镜的设计结果、光学制造公差和质量控制方法，以及其主要性能测试结果。     

通用光线光路计算公式

本文叙述了适用于各种面形(球面、非球面、平面、非轴对称面)的共轴和非共轴光学系统的通用光线光路计算公式。这些公式均适用于计算机编程进行光学计算。     

变焦距物镜光学像面稳定性问题

本文主要讨论变焦距光学系统的凸轮误差、各移动组焦距误差和安装位置误差对变焦距物镜光学像面位置稳定性的影响,以及如何调整移动组的起始位置使三个焦面位置一致。