条纹相位分析小区域平整度检测

为了对漫反射材料小尺寸平面的平整度进行检测,提出采用载频条纹相位分析的方法。该方法采用激光作为照明光源,通过相干获得周期为100m的条纹,使用傅里叶变换条纹相位分析提取待测表面的调制相位并可以转换为表面高度分布,从而能够实现对材料表面平整度的评价。结果表明,系统高度分辨力为10m;考虑到噪声的影响,实际分辨力可以达到20m。所给出的实际实验结果显示该方法是可行的。