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介绍了用电子束预辐射损伤法研究晶体管抗β射线损伤能力的工作,研究经预辐射损伤的晶体管在不同电子束能量,束流密度及不同时间下进行退火处理后性能的恢复能力,为“预辐射损伤-辐射退火”筛选抗辐射晶体管工艺提供了一定的理论和实验依据。 相似文献
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