Rapid Thermal Annealing of Pr~(3 ) and Eu~(3 ) Implanted Silicon

ＲａｐｉｄＴｈｅｒｍａｌＡｎｎｅａｌｉｎｇｏｆＰｒ~（３＋）ａｎｄＥｕ~（３＋）ＩｍｐｌａｎｔｅｄＳｉｌｉｃｏｎ￥ＬｉｕＳｈｉｘｉａｎｇ；ＳｈｉＷａｎｑｕａｎ；ＬｉｕＸｕｅｊｕｎ（ＧｒａｄｕａｔｅＳｃｈｏｏｌ，ＡｃａｄｅｍｉａＳｉｎｉｃａ，Ｂｅｉｊｉｎ...     

He-Ne连续激光探针及其基本工作原理

人们曾利用离子束与固体相互作用制造出离子探针做为研究固体表面组分,杂质纵向分布等固体性质的有力手段,同时又利用电子束与固体相互作用制造出电子探针作为研究固体表面性质十分有利的工具。然而人们能否利用光子束,特别是激光束制造出激光探针做为探索固体表面性质的工具呢?为此,人们进行了探索,进行各种激光探针装置的研究。我们利用低能量He-Ne激光束与半导体pn结样品的离子注入层或激光扩散层的物理