小角衍射法精确测定Mo/Si软X射线多层膜的结构

通过对周期性Mo/Si多层膜Cu靶K_(?)线小角衍射曲线的分析,并进一步采用对局部曲线进行分步数值拟合的方法,确定了多层膜的结构参数及界面质量。估算了多层膜样品在λ=20nm附近的正入射反射率接近10％。     

利用自适应阈值条纹调制度分析方法进行位相去包裹研究

提出了一种基于条纹调制度分析的位相去包裹新算法。该算法用于三维测量中位相图的去包裹处理，取得了好的实验结果。它同样适用于激光干涉条纹的处理。     

应用微分电磁理论研究软X光衍射光栅

微分法是软Ｘ光波段唯一精确计算衍射光栅效率的电磁理论。应用这种理论成功地设计出带有位相光栅的软互光激光反射输出镜，计算出可能的实验误差。对微分理论的数值结果和精度进行了分析和讨论。     

软X射线衍射色散元件

软Ｘ射线衍射色散元件袁利祥，范正修，殷功杰（中国科学院上海光学精密机械研究所，上海２０１８００）崔明启（中国科学院高能物理研究所，北京１０００３９）沈孝良（复旦大学分析测试中心，上海２００４３３）纳米量级的多层膜沉积技术和微电子制作技术的结合已使软ｘ...     

二元光学衍射透镜波象差分析

通过对衍射透镜一级衍射象的波象差分析,由比较系数方法导出其赛得和数.     

衍射透镜衍射效率及光学传递函数

分析了衍射透镜的衍射效率及其对光学传递函数的影响,得出了总的光学传递函数和各衍射级次光学传递函数之间的加权和关系公式.最后进行了实例计算和讨论.