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光学薄膜技术改善分布反馈(DFB)激光器的光谱特性 总被引:1,自引:1,他引:0
地了利用镀光学薄膜的方法来改变镀层厚度,可以有效地将原来处于双模工作的1.3±mDFB激光器变为单模工作。模式改变起主导作用的是加镀膜以激光器端面反射特性中的相移。实验表明,镀膜技术可成为改善DFB激光器单模工作的一种辅助方法。实验结果有助于理解相移对激射特性的作用。 相似文献
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平面型SnO_2微型传感器 总被引:1,自引:0,他引:1
所研制的平面型SnO_2微型传感器是用射频溅射制备超微粒SnO_2膜,和常规的硅平面工艺制作加热器和温度检测器,二者相容集成而制作的气敏器件。用AES、ESCA对SnO_2膜进行了分析,结果表明膜中并没有分离的Sn的成分。利用SnO_2膜接触不同气体表面电导会发生变化的特点,对器件进行了气敏特性测试分析。结果表明:SnO_2膜和Pd/SnO_2膜在200℃~300℃工作温度下对CH_4、CO、H_2、NO_2和H_2S等气体均有明显的敏感特性。当SnO_2膜表面掺入几十埃的Pd后,对上述气体 相似文献
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