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1.
Pd掺杂SnO2厚膜CO2气体传感器的制备及其气敏特性研究
毕道广
罗兵
张福增
王婷婷
姚英邦
《电子元件与材料》
2021,40(1):11-18
当前CO2的过度排放引发了一系列的环境问题,CO2的检测技术成为气体传感器研究领域的热点.半导体气敏传感器是气体传感器研究的主流方向之一,其中丝网印刷法是制备厚膜传感器的最常见的方法.本文采用纳米SnO2作为主要的气敏材料,制备了不同Pd掺杂含量的SnO2浆料,然后采用丝网印刷法制备了SnO2厚膜CO2气体传感器.研究...
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