压电微泵的特性测试与分析

本文对压电驱动微泵的工作特性进行了系统测试，利用高压方波信号源产生频率和电压可调的信号来驱动微泵，采用高精度电子秤测量固定时间(10s)内微泵输送液体的质量大小，并对工作特性进行相关分析，总结了压电微泵的输送流量随液体黏度、驱动电压和驱动频率之间的关系。结果表明，在相同的驱动条件下，液体黏度越大，压电微泵输送的流量越小，在固定的驱动电压下，当驱动频率为泵膜的谐振频率时压电微泵输送的流量最大，高于或低于驱动频率时输送的流量越来越小，在固定的驱动频率下(谐振频率)，压电微泵输送的流量随驱动电压的升高而增加。研究结果为压电微泵的优化设计和实际应用提供了依据。