激光作标技术

本文介绍并比较了束控式与投影式两种激光作标法的特点及用Nd:YAG脉冲激光器作投影式激光作标实验所取得的初步结果.可对数种金属一次作出10mm2面积的标记.     

大规模集成电路掩模缺陷激光修正技术

本文介绍了用激光投影系统汽化C_r板的技术。可在C_r板上汽化出3μm×3μm至80μm×80μm的矩形方孔,最细线宽1μm的线条,最小直径φ1.5μm的园形孔。汽化质量已达到修正LSI掩模缺陷的使用要求。讨论了汽化质量与激光参数的关系。