无机光致抗蚀剂

一、硫硒碲化合物材料的特点元素周期表上以硒、碲为代表的ⅥB的硫硒碲化合物是与石英系玻璃并列的无机玻璃的代表.它们在热力学上具有清晰的玻璃转变点,在玻璃转变点以下是非平衡的,而且具有多余的内能和熵.它基本上是二配位的原子链或环状排列.