关于硅外延反应器设备的商榷

文中讨论了硅外延反应器的部件:功率源、通风柜、反应管几何尺寸、气流控制及自动控制等。详述了反应管几何尺寸对反应器性能的影响,并对用闭环自动气流控制的全自动外延反应器作了描述。