长延迟反射栅色散延迟线

本文报道了用于电子对抗系统的表面波反射栅色散延迟线的制作情况。器件采用离子束刻蚀沟槽栅的制作工艺,整个刻蚀过程由计算机控制,制作出的器件其主要性能参数为:展宽线中心频率80MHz,色散时间126μs,色散带宽21MHz,插入损耗37dB;压缩线中心频率28MHz,色散时间63μs,色散带宽10.5MHz,插入损耗43dB;配对压缩后,旁瓣抑制可达34—36dB。     

用激光干涉法对溅射ZnO薄膜的厚度进行实时监控

本文介绍了激光干涉法监控薄膜厚度的原理与装置.本方法具有简单、方便、稳定可靠、图形直观等优点.对溅射ZnO薄膜的厚度进行实时监控,当厚度为4微米时,精度可达2%.监控厚度可达几十微米.本方法另一个突出的优点是可在不启开钟罩的条件下.方便地研究溅射成膜的各种工艺参数与膜的沉积速率的关系.