隧道窑测温一次元件的合理选用

通过对陶瓷砂轮隧道窑测温元件的分析和试验,探讨了通过合理选择测温一次元件,保证测温精度,降低成本及维护方便的可行性。     

GBF蜂巢芯楼盖技术的应用

高强薄壁复合蜂巢芯简称GBF蜂巢芯，是用无机胶凝材料配以玻纤网格布、钢丝网片和钢筋增强制成的空心构件，采用GBF蜂巢芯密肋楼盖结构体系能增加大跨度建筑空间净高，使建筑物具有空间开畅、自重轻等优点。     

利用共焦显微技术测试亚微米尺寸

当集成电路制造工艺线宽进入亚微米领域时，精确、稳定的测试亚微米、深亚微米线宽／间距尺寸，将成为重要而迫切的研究课题。本文主要阐述以光学原理为基础的共焦显微技术，以及利用共焦技术制造的LWM200型测试仪的性能，测试0．5μm，0．3μm的黑／白条宽，及其仪器测试性能分析。     

净化厂房中气相分子沾污(AMC)的来源和危害

越来越多的研究发现,在半导体圆片加工净化厂房中,除了存在空气悬浮颗粒沾污外,还存在以气相或蒸汽形式存在的分子污染物(Airborne Molecular Contaminants,AMC)。随着特征尺寸(CD)的不断缩小,AMC将会越来越严重地影响圆片加工质量和成品率,并会影响净化厂房内工作人员的身体健康。文章介绍了AMC的分类、来源、危害性、控制标准和方法,希望以此引起人们对AMC的重视,并采取相应的控制措施。