用于监测硅片应力的红外光弹仪

为检测硅片在制造工艺中的应力变化,研制了可用于硅片应力检测/监测的红外光弹(IRPE)系统,获得了芯片的红外光弹图像.利用该系统得出了硅通孔(TSV)结构在退火过程中的应力变化,并发现虽然制造技术和工艺完全一样,但每个TSV的初始残余应力是不同的.不同的TSV取得零应力的温度点也不相同,然而当温度达到一定值时,所有TSV都将保持零应力状态.此外,该系统也用于晶圆键合质量的评价,相对于一般红外显微镜,其检测效果更佳,与超声法相比,其检测效果相当,但效率更高且不需耦合剂.     

基于火灾风险评价模型的既有建筑消防投资决策分析

以既有建筑火灾危险性评价模型为依托,结合模糊数学和消防经济学对建筑进行综合评价,从系统安全的角度对权重系统进行客观确定,采用消防经济学中效用理论,将各指标的投资对最终结果的贡献率进行分析,在相同投入的情况下按＂成本-效益比＂排序,得到适合的消防投资方案,以实现该建筑在有限投入中的消防水平最优化。     

浅析轴承套数控工艺分析及加工

数控技术的广泛应用，给传统制造业的生产方式、产品结构，产业结构带来深刻的变化。科技水平的不断发展，也使社会生产力得到了空前的进步，不断催生而出的新的加工制造技术业越来越多的应用于生产实践之中，并对社会进步发挥着巨大的推进作用。本文通过对具体普通轴类零件的车削加工。体现数控技术的现状和发展趋势，数控加工的特点，工艺分析，工艺设计方法。