适用于阵列波导光栅制作的厚SiO2陡直刻蚀技术

采用ICP-98型高密度等离子体刻蚀机进行了厚SiO2陡直刻蚀技术的研究,利用双层掩膜技术解决了"微掩膜现象"问题,刻蚀获得12.4μm的陡直SiO2光波导剖面,并将这一刻蚀技术用于阵列波导光栅的制作中.     

适用于阵列波导光栅制作的厚SiO_2陡直刻蚀技术

采用ICP- 98型高密度等离子体刻蚀机进行了厚Si O2 陡直刻蚀技术的研究,利用双层掩膜技术解决了“微掩膜现象”问题,刻蚀获得12 .4 μm的陡直Si O2 光波导剖面,并将这一刻蚀技术用于阵列波导光栅的制作中.     

对盐炉快速启动法的认识和讨论

近年来,电极盐炉的快速启动是一个热门课题。不少热处理工作者相继提出了各有特色的启动方法,某些单位还研制了专用设备,组织了专题培训和技术交流。与此同时,一些刊物也发表了一系列文章(参看《金属热处理》83年第4期、84年第6期),对盐浴炉结构的改进和快速启动法作了较为详尽的介绍。本文试就启动机理、节电效果等问题进行初步分析,不当之处,望予指正。     

浅析用SOCKET API实现的网络通信

本文用两个实例程序模拟了客户机与服务器间的通信过程。     

一次罕见的热处理炉爆炸事故

<正> 某厂一台造价近六十万元的铝材退火炉,于1988年发生了严重的爆炸事故,笔者曾被邀赴现场查看,亦就爆炸原因和爆炸的破坏力等进行了初步分析,现择要报导如下。 该炉由国内仿照从美国引进的炉型设计,为气流强制循环台车式电阻炉,总功率750kW,最大装料量15吨。整炉由钢板及型钢框架焊制而成。结构比较先进,密封性