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本文根据质谱探漏的特点,分析了两种检漏方法的物理过程。明确了检漏工艺对测试系统的要求。指出了用玻璃阀门组成的检漏系统存在的问题。所介绍的两种新系统都具有“本底小”、省劳力、速度高的优点。 相似文献
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本文介绍了用于红外CCD和多元红外探测器封装致冷的GH01型玻璃杜瓦瓶,其容积为50毫升,致冷时间大于5小时,启动时间35秒。采用先进的“芯片载体”式封装技术,实现了多元器件的大面积装架和高密度封装。18根输入、输出引线和三种陶瓷载体,可适用于不同材料、不同结构、致冷时间为77°K的红外CCD或其他多元红外探测器。 相似文献
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简化微电子器件的气密性检测程序,利用新的手段以简捷、准确的探定被检器件的漏速是每个检漏工作者所希望的。本文所介绍的两种工艺方法是国外在这方面的近期研究,可供参考。 相似文献
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氟碳加压检漏法,灵敏度高,可靠性好,已被列为机电部元器件密封性检测的标准方法。但在用于半导体光电器件时却出现漏孔严重堵塞、光学窗口炸裂、指示液易污染等问题。本文根据长期观察、实践,对上述破坏性现象进行了分析、验证,并在如何避免其发生及妥善处理方面作了有益的探讨。 相似文献
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