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1.
UV-LIGA光刻设备研究
总被引：3，自引：0，他引：3
余国彬
姚汉民
胡松
王兆志
林大健
《电子工业专用设备》
2000,29(4):26-29
近几年来微型机电系统 (MEMS)的研究得到了高速的发展 ,而MEMS的工艺基础是微细加工技术。针对电铸 (LIGA)技术所存在的缺点提出了紫外光电铸(UV -LIGA)技术 ,并研制了用于UV -LIGA技术的光刻设备。其中介绍了整机的设计要点、所解决的关键单元技术和实验结果。
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