对一台光栅扫描电子束曝光机制作掩膜版质量的分析

本文在成熟使用电子束曝光机制作各处掩膜版的基础上，针对主人掩膜版质量的三大因素即：图形尺寸精度，图形套准精度，芯片合格率逐一详细分析，以研究探讨如何应用电子束曝光机制作高质量的掩膜版。     

对一台光栅扫描电子束曝光机制作掩模版质量的分析

本文在成熟使用电子束曝光机制作各种掩模版的基础上,针对评价掩模版质量的三大因素:图形尺寸精度、图形套准精度、芯片合格率逐一详细分析,以研究探讨如何应用电子束曝光机制作高质量的掩模版。     

温室蔬菜和大田蔬菜营养成分含量的对比研究

为对比温室与大田蔬菜营养含量，对乌鲁木齐市市郊的温室环境和大田环境中生长的油菜和黄瓜的营养成分的含量作了分析测定。结果表明：与夏季大田蔬菜相比，冬季温室蔬菜的叶绿素、还原型维生素Ｃ、总糖、Ｃａ、Ｍｇ、Ｐ等矿物元素含量均比较低（Ｐ＜０．０５）。提示温室蔬菜营养成分含量的降低与温室内光照不足及空气污染有一定关系。     

影响电子束曝光机加工微细化的因素

结合实际工作,分析、探讨了影响电子束曝光机加工微细化的因素。这些因素主要有:抗蚀剂材料、电子束本身、电子束曝光机控制线路、器件结构和电子束工艺等。在诸影响因素中,工艺的影响是目前一个较大且较主要的影响因素,其次是背散射电子束的影响,对后者,我们采用辅助曝光方法加以改善,效果良好。但对工艺等的影响因素的改善尚待继续研究、摸索。     

对一台先进电子束曝光机制作掩模过程的分析

本文通过对一台先进电子束曝光机制作掩模过程的分析,阐明设计图经计算机辅助设计系统数字化后,生成PG格式数据,再由PG格式数据转换成电子束格式数据的处理;论述了光栅扫描的原理及特点;介绍了图形发生器的作用及电子束在控制系统作用下在基片上描绘图形的过程。