FLK 150型反应离子刻蚀机

本文详细介绍了FLK-150型反应离子刻蚀机的工作原理、设计计算、性能指标、结构特点及实验结果,并对气体流型、排气系统等进行了讨论.     

微细金属图形制作中的剥离技术

介绍了用于微细金属图形制作中的剥离技术的一些基本要求，同时阐述了常用的几种剥离方法、简单原理及一些具体应用实例。     

制备ZnO压电薄膜的射频平面磁控溅射装置

本文叙述了射频平面磁控装置的原理，结构特点，射频源及阻抗匹配网络，基片温度控制等方面的问题。在该种类型的装置上已淀积出了高度取向的优质ＺｎＯ压电薄膜，成膜速率比普通射频溅射提高５～１０倍。并在圆筒形钟罩外增设磁场线圈以增强靶表面水平磁场。实验中，测定了靶表面合成水平磁场的分布。对一些问题进行了讨论。     

声表面波器件内连技术的发展趋势探讨

随着SAW器件向小型化、轻型化的发展,传统的引线键合技术已对其形成严重制约。倒装焊技术在30年前发展起来,它解决了器件小型化发展的问题,并与平行封焊等工艺手段一起,促进了表面贴装技术（SMT）的发展,也越来越多地用于其他工业中。文章介绍了传统线焊工艺的局限性,倒装焊工艺的核心技术以及对面临的困难可能的解决方法。     

中频感应加热浮秤自动控径LiTaO_3单晶生长装置

本文简述了中频感应加热条件下的浮秤自动控径技术.实现了自动放肩、等径、收尾和升降温.长出了直径43±1mm、长70mm、径差≤±1%的透明LiTaO_3.     

基于改进小波阈值去噪的电厂脱硫过程数据校正方法研究

电厂脱硫系统受恶劣工作条件和测量技术的限制,测量数据误差严重影响控制系统的安全稳定运行.为获得能够正确反映脱硫系统实际动态过程的运行数据,从小波分析理论出发,针对传统阈值函数的不足,结合鲁棒估计函数提出了一种基于改进小波阈值去噪方法的数据校正策略,实现对测量数据中过失误差与随机误差的依次处理.通过仿真实验和现场实例,对...     

射频大功率放大器的设计研究

本文主要讨论了固体电子学中低温等离子体技术中的数百瓦至几千瓦的射频大功率放大器设计问题,对其中晶体振荡器、缓冲放大器、中功率放大器、推挽中和放大器等作了必要的讨论;对确定板极振荡回路及耦合回路参数给出了某些数据,同时给出了两种匹配网络的设计计算公式.     

鄚任输油管线内腐蚀原因与治理技术研究

通过对鄚任输油管线采出液水质特性分析及影响腐蚀的因素试验,找出了引起该管线腐蚀穿孔的主要原因是细菌腐蚀,并研制出了复合型缓蚀剂。采取加药治理措施后,在投药量为50mg／L的条件下,管线内腐蚀速度〈0．076mm／a,杀菌率达到100％,使鄚任管线腐蚀得到了有效控制。