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在过去的10年内,平板显示业(FPD)迅猛发展,以满足对高品质的显示设备,如显示器,电视机,手机和掌上电脑(PDA)等的需求。显示行业研究机构的最新统计表明:显示器的销售由2003年的440亿美元增至2006年的730亿美元,预计2009年将达到900亿美元。而产能的扩张更令人惊讶:以每年42%的增长率,从2005年的39000m2玻璃到2009年预计的121000m2。为了使平板显示器能更普遍地使用,降低生产成本是关键。FPD行业已经通过增加玻璃尺寸非常成功地降低了每块面板的成本。这个增长比率每年都在递增,从2000年的0.35m(23代)到2006年的4.4m(27代),6年内翻了10番… 相似文献
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传统中为了得到良好的运行，真空干泵总是被安装在远离对真空环境要求苛刻的机台的地方。这主要因为真空泵的洁净度、稳定性、重量、尺寸、振动、噪声和表面温度都会直接影响到机台运行。BOC Edwards创造性的开发生产了一款既小又轻的干泵一EPX180，它符合所有机载真空的要求。此外，这种独特的设计还使得EPX500真空泵能达到更低的压力和更高的抽速。其优点是在高真空工艺中用一个EPX泵代替组泵，并且就只需一个阀件。此技术可以使一个单泵从大气抽到10—7Torr。 相似文献
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