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讨论了一种抗大过载 (15 0 0 0 0 g)的微型加速度计 ,主要内容包括 :阐述加速度计的工作原理 ;设计一种新型十字梁的器件结构 ,并对这种结构进行抗大过载的冲击实验 ,以验证这种新型的结构对于大过载冲击的可靠性 ;进而利用ANSYS对器件进行模态分析 ,找出结构上应变最大的位置 ,并对结构尺寸进行优化 ;提供一种可能的电路版图说明 ,并对加速度计的灵敏性进行理论分析 ;最后提供一种可行的加工工艺方法 相似文献
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一种抗大过载微型加速度计研究 总被引:2,自引:0,他引:2
讨论了一种抗大过载(150000g)的微型加速度计,主要内容包括:阐述加速度计的工作原理;设计一种新型十字梁的器件结构,并对这种结构进行抗大过载的冲击实验,以验证这种新型的结构对于大过载冲击的可靠性;进而利用ANSYS对器件进行模态分析,找出结构上应变最大的位置,并对结构尺寸进行优化;提供一种可能的电路版图说明,并对加速度计的灵敏性进行理论分析;最后提供一种可行的加工工艺方法。 相似文献
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讨论了一种抗大过载(150000g)的微型加速度计,主要内容包括:阐述加速度计的工作原理; 设计一种新型十字梁的器件结构,并对这种结构进行抗大过载的冲击实验,以验证这种新型的结构对于大过载冲击的可靠性; 进而利用ANSYS对器件进行模态分析, 找出结构上应变最大的位置, 并对结构尺寸进行优化; 提供一种可能的电路版图说明,并对加速度计的灵敏性进行理论分析; 最后提供一种可行的加工工艺方法. 相似文献
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