单片集成MEMS中的阳极键合工艺

分析了阳极键合工艺的原理及其工艺条件对CMOS电路的影响，并通过理论分析和实验研究了单片集成MEMS中的两种阳极键合方法：对于玻璃在硅片上方的键合方式，通过在电路部分上方玻璃上腐蚀一定深度的腔及用氮化硅层保护电路可以在很大程度上减轻阳极键合工艺的影响；而玻璃在硅片下方的键合方式，硅片上的电路几乎不受阳极键合工艺的影响，两种方法各有优缺点。     

发电厂电气设计的经济性及可靠性研究

随着社会经济不断发展,我国社会各个领域取得了进一步发展,对能源的消耗日渐增加。发电厂是我国能源消耗的重要领域,在国家大力倡导节能减排情况下,需要贯彻落实节能降耗工作,将节能减排理念渗透到每一个细节中。电气设计作为发电厂日常管理的重要环节,如何提高其经济及可靠性受到越来越多的关注。本文将从电气设计及主接线两方面入手,提出电气设计四个环节及电气主接线设计经济性及可靠性实施方案,从而推动我国发电厂节能减排工作顺利开展。