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CCD的非线性效应对改进型傅里叶变换轮廓术的影响   总被引:5,自引:0,他引:5  
在傅里叶变换轮廓术中 ,由于 CCD探测器光电响应的非线性 ,将在测量中引入高次项 ,从而对相位的求解造成较大误差 ,通过理论的推导定性地解释了误差的来由 ,并用计算机进行了模拟计算 ,最后提出了减小误差的方法  相似文献   
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