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煤炭是我国的能源支柱,在我国社会经济发展中占有举足轻重的地位。但我国对能源需求随着国民经济的快速增长而不断增加,煤炭企业生存出现了危机,资源节约,生产集约成为煤炭企业的重要战略任务。而循环经济能促使资源、环境与经济协调发展,是煤炭企业建设的必然选择,为煤炭企业管理提供了有效手段。因此,寻求煤炭企业循环经济发展模式对加快煤炭企业生产具有非常重要的现实意义。 相似文献
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基于MEMS技术的微电容式加速度传感器的设计 总被引:2,自引:0,他引:2
给出了一种基于MEMS技术制作的微电容式加速度传感器的结构及工艺。为了准确地把握这种微电容式加速度传感器的力学和电学特性,仔细地建立了它的力学模型。在此基础上,详细分析了它的动态特性———模态。并用有限元的方法分析和计算了微电容式加速度传感器的加速度与电容信号的非线性输入输出关系,并结合实测参数验证了模型的有效性。最后提出了一种详细的有效的基于MEMS技术的微电容式加速度传感器的结构以及加工工艺流程。基于MEMS技术制作的微电容式加速度传感器具有结构简单、工作可靠和工作范围大的特点。根据这套方法,可以比较方便地设计并加工不同测量要求的加速度计。 相似文献
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