排序方式: 共有4条查询结果,搜索用时 46 毫秒
1
1.
2.
3.
BALZERS厂生产的BA-510K高真空光学镀膜机,具有较好的性能,如抽速较快,抽气系统能自动控制,有电子束蒸发设备,能监控膜厚等等。国内也进口了不少镀膜机,然而在镀制工件的面积,即膜厚均匀分布方面,电子束蒸发源设计及膜厚监控方面均有待进一步改善,因为这些方面是镀膜机最为重要的部件,为此,我们对BA-510K镀膜机过行了改装,设计了小型多柑涡全水冷的磁偏转电子枪代替了原来的环形电子枪,计算了膜厚分布的均匀性,改变了电子枪的位置,适当调整了蒸发源位置和球形夹具的半径,获得了最大的膜厚均匀面积,并为了用电子束蒸发氧化物等硬膜材料,改变了换监控片的方法,又采用单色仪代替了滤光片,可任意选择监控波长。 相似文献
4.
1