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为了对液晶光学相控阵的相位调制量进行高分辨率、高精度的自动化测量,采用了傅里叶/4波片法,在常规/4波片法的基础上,结合离散傅里叶变换算法完成数据处理过程,获得更高的测试精度,并且对测试环境的振动、噪声具备更好的抑制能力。实验中,利用微机控制步进电机、CCD等辅助设备,结合傅里叶/4波片法形成自动检测设备。结果表明,将标准/4波片作为测试样品,测试重复精度小于0.3;将自行研制的液晶光学相控阵作为待测样品,获得了其近场的相位分布,可看到样品的相位周期性与电极间相位凹陷等情况。 相似文献
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