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本文分析了全固态射频等离子体源的基本结构。当等离子体工作在27.12MHz的频率时,必须使用阻抗匹配技术才能使射频电源输出的能量全部传输到负载上。本文介绍阻抗匹配原理,分析经典匹配方案,以及常见的阻抗匹配网络,提出通过负载牵引技术和L形阻抗网络实现阻抗匹配,并通过ADS软件仿真验证方案正确性。该方案适用于全固态射频等离子体的大功率射频放大器中。 相似文献
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