镜面无损检测系统

介绍了基于“魔镜”技术原理研制的镜面无损检测系统,该检测系统已应用于Ｓｉ片和其他半导体抛光晶片的质量检测,且其用途已延已延伸到与超平镜面有关的各种技术领域,如硬盘光盘、玻璃衬底等。