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无线电
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2016年
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1.
凸球面网栅激光直写技术
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胡内彬
白剑
墨洪磊
朱蓓蓓
兰洁
梁宜勇
《红外与激光工程》
2016,45(1):120002-0120002(5)
为了满足凹球面光刻所需的曲面网栅掩模的需求,建立了凸球面激光直接写入系统用于制作曲面网栅掩模。该系统目前支持最高20的基片倾斜,结合加工时的曝光量修正算法,在口径为50 mm、曲率半径为51.64 mm的凸球面基底上制作了矩形网栅图案,并结合双摆台联动在凸面上制作同心圆环图案。实验结果表明,现有凸球面直写系统初步具备加工凸面网栅掩模的能力,为后续的曲面掩模光刻打下坚实基础。
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