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一种支持协同写作的系统模型 总被引:3,自引:0,他引:3
协同写作系统是计算机支持雷同工作系统(CSCW,Compute Supportecd Cooperative Work)的典型应用,目前已经开发了许多支持协同写作的系统,但在这些系统大多没有得到实际的应用。本文提出了一种支持在广域网环境下同步或步异的协同写作的系统模型,着重探讨了该模型下的协作问题。 相似文献
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光刻机的曝光量和焦距会随着做片量的增加发生漂移,具体表现为曝光场内和圆片内出现曝光不均的质量异常。设计了针形解析图形和方形显开解析图形,利用Ultra Step 1000光刻机进行实验,分析了曝光量和焦距的变化对解析图形解析值的影响。结果表明,曝光量对针形光胶解析图形影响较大,焦距对方形显开解析图形的影响较大。设计了解析图形在曝光场内和圆片内的布局方案,以及在线检测曝光场内和圆片内的曝光均匀性的具体方法,利用该方法可以有效提高光刻机曝光均匀性的在线监控效率,提早预防曝光不均异常现象的发生。该监控方法可以应用于其他类型的光刻机。 相似文献
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