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当硅烷被脉冲CO_2激光器照射时就淀积出硅膜。当激光调至SiH_4吸收频率上时,有效地导致出这种激光产生的汽相淀积。其效率是那么高,以致1.3MW/cm~2的未聚焦束就足够了。无任何热效应。在汽压超过100乇以上能有效地产生淀积,这表明包含有一种碰撞附加过程。 相似文献
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随着复杂性的增加以及较大量的需求,在集成电路设计中对成本的考虑必须给予足够的重视。由于大芯片尺寸的成品率一般来讲较低,因而,集成电路的物理尺寸的增大要着重强调其元件的成品率。所采用的方法是用多层布线来避免缺陷,或将焊点重新安置。这种工艺费用高,但最实用的方法是减少电路尺寸,直至获取满意的成品率。 相似文献
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